很开放的交流,这是一种让他很喜欢的工作状态,在此之前,他还从来没有产生过,要离开Ibm的想法。 但Ibm对dUV一直不重视,林本坚的顶头上司,是x光技术路线的,坚定支持者。这也使得他的技术设想,根本没有得到验证的机会。 去英豪就是开启新的冒险,林本坚本质上,是不喜欢冒险的那类人,也不关注虚名,否则也不会在60岁之前,仍然没有闯出太大名声。 至于林本坚赖以成名的浸润式光刻机的技术路线,其实他最早在1987年的时候,就提出过设想了。 但也是直到2000年,他加入了台积电后,193nm迟迟无法向下突破,才重新提出了浸润式的技术路线。浸润式光刻机真正实现突破的时候,他刚好60岁。 英豪是邀请他做自己坚信的dUV技术路线的,而且给出...
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