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第八十四章 第三家的家当全拉过来（第2页）

张冲志忙回应说：“朱教授，您过奖了，您的治学和创新精神让学生佩服，您那句：‘我先是水木大学教授’这句话一直鼓舞着我。

您带领团队一举攻克光刻机的双工作台更大涨了轩辕国的志气，学生佩服不已。”

几人又寒暄了几句分宾主相向而座，今天主要的任务是谈判。

夏卓精密科学科技股份有限公司，是由朱宇带领科研团队一手托起来的。

作为水木大学工程系机械电子研究所所长，水木大学Ic装备领域学科带头人，他从2o12年开始创立夏卓公司，带领团队历经5年的时间，成功研出光刻机双工作台系统。

样机已通过国家验收，获得国家科技重大专项认证和奖励。现这个工作台已用在上海微电子的台28纳米纯国产沉浸式光刻机上。

现在光刻机的双工作台只有荷兰麦和夏卓公司能生产，打破了荷兰麦一家独大的局面。

谈判一开始双方就进入胶着状态，因为双方都底气很足，同前两次一样，夏卓公司以双工作台为法码，坚决要求在光刻机项目中占股4o%，这夏盛公司无法接受的。

浸润光刻机主要由工作台、投影物镜（对于极紫外光线采用反射镜）、光源三大核心系统组成。

而光刻机工作台主要承载晶圆按照指定的运动轨迹做高精密运动，并完成一系列曝光所需动作，包括上下片、对准、晶圆面型测量和曝光等，又分为单工件台和双工件台，两者生产效率相差很大。

朱宇教授在谈判中说：“双工作台是高精度复杂的光刻机设备，外国人认为我们做不出来，可现在却被夏卓公司攻破了。

我们自主研制的双工件台核心模块，即运动定位模块domo，它可以让双工件系统实现与掩模台以下1.5纳米的同步运动精度，这为光刻机的2纳米工艺打下了基础，我们的技术值这个价。”

张冲志见双方陷入了僵局，他没有再说什么，而是从张齐手里拿过一个文件夹，从里面取出一份文件，轻轻推到朱宇的面前。

他微笑着说道：“朱教授请您先看一下这份文件，喝口水，我们双方再谈。”

朱宇仔细一看见文件标题是《荷兰麦、夏卓双工件台的特点说明》，他心中一动，忙用手抓起文件，翻看了起来。

做为从41o1年就投身在光刻机双工件研项目中的席科学家，他深刻明白文件中每个数据代表的意义，这表明对方对双工件台的设计和制作了解有多深。

看到文件最后，他竟看到自己的双工作台所存在的几个缺陷，其中一个竟给出了解决方案，让人有茅塞顿开之感。

这让他极度吃惊，他的心中竟有一种对方可以制造双工作台的感觉，这让他心中大惊。

他忙问张冲志：“你们这份文件是哪里来的？你们难道也研出来了吗？”

张冲志点点头，又摇摇头，他说：“这取决于您老的态度，如果我们两家达成战略协议，夏盛公司让你们持股5%，我们的双工作台就没有研出来。

并且帮助你们研28纳米和5纳米的双工作台，甚至2纳米的双工作台。

如果达不成合作条件，你们还坚持4o%的持股比例，一年半后我们将研完成2纳米的双工作台，并用在对应的光刻机上。”

朱宇大脑轰地一下，他被最后光刻机三个字震到了，他死死盯着张冲志问道：“你能为刚才的话负责吗？特别是最后那一句！”

那句话太让他震惊了！

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