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第五十章 离子注入机（第1页）

“世哲！”

凌世哲听到有人喊他，会头一看是李莉，她正站在停在公路边的一辆汽车旁。

看到李莉他突然不知道该怎么面对他，自从元旦那天夜里跟她吵了一番后，就一直都没有回去，一直住在他新收的二房家里。现在原配找上门来，他感到一阵心虚。

他自认自己不是一个**之徒，甚至还看不起那些到处包**的有钱人，但现在他跟那些有钱就变坏的男人有什么不同，他还有什么资格来鄙夷他们？看见李莉站在不远处的车旁静静的望着他，凌世哲羞愧的地下了头。

李莉慢慢的走到他跟前，说道：“世哲，你什么时候回家，阿姨在家里给你做了你最爱吃的菜，等你回家吃饭呢。”

听到李莉的话，凌世哲更是羞愧的无地自容，看着她的眼睛，说道：“李莉，对不起。”

李莉眼泪瞬间彪了出来，哭了好一会，把眼泪收了，说道：“世哲，记得晚上回家吃饭。”

说完，李莉转身走了，上车前，她又转个身来说道：“世哲，不要把她带回家里来好吗？”

显然她已经知道了赵晓芸的事情，这几天凌世哲都没有回家，天天往邵氏影城旁边的别墅跑，他对自己的行为又没有做任何掩饰，李莉自然很快得就知道了。但是她没有闹，只是哭了一会就接受了这一切，说白了，这个世界始终是男人的世界，香港更是如此，哪怕就是有了婚姻法也是如此，她只能默默的接受。

凌世哲叹了口气，也没有心情回公司了，找了间上档次的茶餐厅坐了一个多小时，看时间差不多了就回了浅水湾的别墅。

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“凌少，请看，这一台就是重新设计的离子注入机的样机，目前表现还不错，它现在还在测试当中，在隔一段时间没什么问题，就可以定型生产了，凌少你在加拿大的工厂很快就会用上了。”

凌世哲自那天回过浅水湾的别墅后，家人之间的矛盾已揭开，一家人重新回到了正常生活，现在的他有了两个女人，他每隔几天都要去新别墅住两日。

今天，他来到离香港大学不远的安布雷拉工艺实验室考察离子注入设备的，前几天就接到克里斯托弗的报告，离子注入设备已经研成功。负责解说的是理工大学的邱明教授，他是国际离子学的权威，这台高能离子注入机就是在他和克里斯托弗一起搞出的。

离子注入机是晶元加工掺杂中要用到的设备。

掺杂是降可控数量的所需杂质掺入晶元中的特定区域内，从而改变半导体的电学性能。简单来说，就是在晶元中被刻蚀机刻出的还没有成行的晶体管半成品中，掺入一定的杂质，使那些还没有成行的晶体管生成合格的晶体管。

在芯片制程工艺中，芯片原料晶元上面是没有晶体管的，它是经过投影光刻、刻蚀、掺杂后才形成的。

具体来说，就是芯片工厂先把芯片设计师设计的芯片图先制程芯片电路光刻板，然后在交给光刻机在晶元片上进行投影曝光，晶圆片上涂抹的光刻胶里面含有感光剂，经过显影工序后，晶圆片上就显现出了芯片的电路图；然后在交给刻蚀机把电路图给刻蚀出来。

经过这几道复杂的工序后，晶圆片在高倍显微镜下面就会看到的一个个小小的凸起，这就是晶体管的雏形，但这还不行，这些晶体管还只是一个个形状，还不具备晶体管的任何功能，还要进行掺杂才会变成真正的晶体管。

在晶元中掺入磷或其他五价元素就会形成n型半导体；掺入硼或其他价元素就会形成p型半导体。

一句话，就是通过掺入不同杂质在晶圆片上形成一个个晶体管。

我们在半导体芯片上那些肉眼看不见，只有在高倍显微镜下才能看到的晶体管就是这么制造出来的。

人们有时候会问，在一个小小的芯片上是怎么做到几万甚至几亿个晶体管得？你们是怎么把晶体管做得那么小的，甚至达到了纳米级，你们又是怎么把那么小的晶体管按上去的？实际上晶体管不是按上去的，都是通过光刻工艺刻蚀并掺杂后形成的。而微米级、纳米级芯片，是指芯片中晶体管之间的间距，不是指晶体管的大小，晶体管之间的间距越小，相同面积的芯片上晶体管的数量就越多。晶体管之间布满了中间线，把各个晶体管给连接起来。

凌世哲接过邱明递过来的数据记录资料，翻开，上面全是离子注入机的各种运行记录，加工产品的品质记录等等，然后又在显微镜下看了下加工的样品，最后又看了看产品的各种检测报告，感到非常的满意，问道：“应该到达商业应用了吧？”

邱明回答道：“如果这台样机在运行上没有问题，结构上在优化一下，就可以进行商业化生产，凌少，以前对半导体的掺杂都是用的扩散法掺杂工艺，而利用离子注入机进行掺杂是6o年代才开始的，但技术一直不成熟。我们的这台离子注入机在技术上完全的成熟，机构简单、体积小，保养、维护、维修上简单方便，掺杂品质好，标靶精度高，跟以前的掺杂方式比起来，有太多的优势了。”

“掺杂后的退火你们采用的是什么退火工艺？”

离子注入掺杂技术有个缺点，会对晶格造成损伤，因此在离子注入后需要进行退火处理来消除这些缺陷。