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132纳米激光源,激效率是193纳米光源的两倍多。
金属液锡的击打频率,从最开始的5o次,5oo次,5ooo次,逐渐达到可以使用的2万次,最终追平国外的每秒5万次
国产锅盖镜片,反射率为82国外为7o,经过2o次反射后,最终能量利用率达189,艾思迈euv只有oo8。
综合曝光功率,过了625,是艾思迈euv的25倍。
至此。
国产euv按理说已经具有了足够的领先优势,完全可以宣布成功,并且将产品投放市场。
“不够,领先这点程度还不够”
台上的蒲伟才摇着头道“因为光源系统极高的工作稳定性,索性,我们砍掉了复杂程度极高的纠偏系统,再加入一台光源系统,用两台稳定的光源系统,交替工作,彻底代替纠偏系统,如同按上了两颗强有力的心脏,其可靠性不会比一颗心脏纠偏系统差多少,并让整个系统大为简化,降低了生产成本。”
“除此之外”
“两颗心脏如果同时开展工作,同时产生euv光源,那么这台暴龙euv,将进入狂暴状态”
“狂暴状态下,光刻功率翻倍,加工晶圆的能力翻倍,生产效率陡然翻倍。”
“该状态下,十分钟内加工出的晶圆数量,过艾思迈euv工作一小时的数量。”
“一台暴龙,胜过六台艾思迈”
“这就是所谓的狂暴模式”
哇
哇哇
台下惊呼声一片,所有人都起身站了起来。
直播平台的弹幕中,也是一片的“牛逼”
、“卧槽”
、“怎么可能”
、“真这么牛叉”
的评论,无数网友被惊掉一地下巴。
“一台要比六台强,这出的不是一点点,简直是天顶星科技了”
龙耀公司的于大嘴坐不住了,都想冲到台上,带走蒲伟才,让他领自己去看看那台暴龙euv了。
“那么那台暴龙euv在那呢”
这时,台上的蒲伟才接着道“肯定有人问,我刚刚对着t讲了那么多技术原理,t里吹的那么厉害,真机又在那里呢我们准备的现货产品呢”
“不要急,接下来交给工厂,马上开始真机操作展示,进入现场直播环节”
轰
所有人都精神一振,不论现场观众还是看直播观众,都全体站立,挺直了脖子。
目光死死盯着正在工厂内部进行的真机演示画面。,,,请牢记收藏,&1t;
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